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等离子清洗机射频水平电极容性耦合放电形式是怎样的

返回列表 来源:企鹅体育app 浏览: 发布日期:2020-09-03 09:46【
文章导读:等离子清洗机根据电源选取的不同,通常主要有中频和射频之分,而射频等离子清洗机因放电形式不同,也有射频容性耦合和感性耦合放电之分,在接下来的内容中,企鹅体育app先来了解一下射频,以及水平电极的容性耦合放电形式和基础原理。
      根据电源选取的不同,通常主要有中频和射频之分,而射频等离子清洗机因放电形式不同,也有射频容性耦合和感性耦合放电之分,在接下来的内容中,企鹅体育app先来了解一下射频,以及水平电极的容性耦合放电形式和基础原理。
等离子清洗机射频水平电极容性耦合放电形式是怎样的-企鹅体育app
一、什么是射频
      等离子清洗机的射频或者说RF,是指工作频率在MHz量级,射频等离子清洗机的典型波段值为13.56MHz。在材料表面的等离子清洗应用中,电容耦合式的射频等离子清洗机适用范围较为广泛。
二、基本原理
      等离子清洗机中低温等离子体的产生机制有多钟,包括但不局限于直流辉光放电、射频感应放电、电容耦合射频放电,其中,电容耦合水平电极板射频放电又以处理面积大,在诸多研究和工业处理中应用广泛。下图为水平电极容性耦合射频等离子清洗机放电。
等离子清洗机射频水平电极容性耦合放电形式是怎样的-企鹅体育app
      对于电容耦合高频等离子体源而言,保持在平行平板电极间的等离子体主要是通过高频电场加热。大部分的电容性耦合射频等离子体反应器都是非磁化的,工作频率在1~100MHz之间,要比电子响应电磁场的电子等离子体频率要低,即ω<ωpe。非磁化容性耦合射频放电模型如下图所示,由于使用的容性耦合射频放电能够产生较大面积的稳定等离子体,因而正如上述所说,电容性放电已经成为低气压放电材料处理中应用zui广泛的等离子体源。
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