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等离子清洗机与固体表面的物理作用有哪些?

返回列表 来源:企鹅体育app 浏览: 发布日期:2020-07-27 10:33【
文章导读:等离子清洗机对固体材料反应和作用过程主要包括物理作用和化学反应,物理作用也是等离子清洗机处理效果的重要影响因素,其实,等离子清洗机与固体表面的物理作用主要有以下几种类型。
      等离子清洗机对固体材料反应和作用过程主要包括物理作用和化学反应,物理作用也是等离子清洗机处理效果的重要影响因素,其实,与固体表面的物理作用主要有以下几种类型。
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一、吸附与解吸作用
      等离子清洗机的吸附和解吸附作用过程是非常重要的,吸附通常源于入射分子与表面间的吸引力,吸附也是有物理吸附和化学吸附之分,物理吸附源于分子跟表面的弱相互作用,这一过程是放热的,物理吸附的分子与表面的结合能是很弱的,吸附后可迅速从表面扩散;而化学吸附是当吸附原子或分子与表面原子形成化学键,这一过程是强放热的过程。
      解吸作用是等离子清洗机中的等离子体与固体材料表面接触的界面上,电子、离子、光子及中性粒子将能量传递给被吸附在固体材料表面的原子或分子,使这些原子或分子克服吸附力而离开固体表面,通常有离子解吸、电子解吸、中性粒子解吸和光解吸等。
 
二、溅射作用
      溅射的物理机理是动量的转移过程,当高能离子或中性粒子和固体材料表面作用时,能够把能量传递给固体材料中的原子或分子,使固体材料内的原子或分子获得高于结合能的动能,从固体材料表面溅射出来,在溅射过程中,溅射的产额与入射粒子种类、能量及靶材料种类存在一定关系。
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三、注入作用
      通过具有一定能量的离子或中性粒子对固体材料表面进行轰击,可以引起固体结构的变化,增加材料表面的分子量,也可使晶格损伤,造成缺陷或非晶化等。另外,利用等离子体将离子注入金属表面,可以提高材料的硬度、耐磨、耐腐蚀等性能。离子注入的特点是可以控制注入能量和剂量,取得理想的表面改性效果。
 
四、刻蚀作用
      等离子清洗机的刻蚀作用是通过等离子体中的粒子跟材料表面原子或分子结合,生成挥发性的产物,实现在固体表面的刻蚀,这个过程可以具有化学选择性,也可以是各项异性的。
 
五、复合作用
      在三体碰撞中,正负带电粒子碰撞复合,第3体就是固体壁或固体表面,固体壁加速了复合过程。

六、激发和电离作用
      激发和电离作用也会存在于等离子清洗机对固体表面的处理过程中,在固体表面,被束缚在原子或分子的量子化的能级上的电子,在受到光子或入射电子的轰击时,会发射光电子,光电子的内能会随能级不同而形成光电子谱。
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